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电子级氢氟酸的用途及分类

点击次数:48 更新时间:2024-05-14 22:36:12 来源:http://www.zibofenghui.com/ 【关闭

1、产品用途

产品主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中,电子级高纯氢氟酸是关键辅助材料之一。主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中,用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片,再到电池片的第一道工艺程序:清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体产业中也被广泛使用。还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

2、产品分类

UP—S级:适用于0.35—0.80um集成电路加工工艺,金属杂质含量低于1.00ug/L,经过0.05um孔径过滤器过滤,控制0.20Ixm粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMIC8标准。

UP级:适用于1.00um集成电路及TFT—LCD制造工艺,金属杂质含量低于10mg/kg,经过0.20um孔径过滤器过滤,控制0.50um粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMIC7标准。

EL级:金属杂质含量低于100mg/kg,控制1.00um粒径粒子,达到SEMI C1,C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。

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